คู่มือการทดสอบ
Cleanroom Performance Testing (CPT) ตาม NEBB ทดสอบอะไรบ้าง และควรทดสอบบ่อยแค่ไหน
ทำไมต้องทดสอบหลังส่งมอบห้อง
ห้องที่สร้างเสร็จแล้วยังต้องพิสูจน์ว่าทำงานได้ตามระดับที่ออกแบบ และต้องตรวจซ้ำเป็นระยะ เพราะฟิลเตอร์ ซีล และการปรับลมเปลี่ยนไปตามการใช้งาน NEBB ข้อ 9.4 กำหนดให้บริษัทที่ได้รับการรับรอง NEBB CPT ทดสอบตาม ISO 14644 ส่วนที่ 1, 2 และ 3 และวิธีของ IEST RP-CC006 และ RP-CC034
การทดสอบหลัก 5 รายการ
NEBB ข้อ 9.5 ระบุการทดสอบหลักที่ใช้จำแนกระดับห้องตาม ISO 14644 ดังนี้
- ความเร็วลมและความสม่ำเสมอ (Airflow Velocity and Uniformity)
- ปริมาณลมและความสม่ำเสมอ (Airflow Volume and Uniformity)
- รอยรั่ว HEPA หลังติดตั้ง (HEPA Filter Installation Leak)
- การนับอนุภาคเพื่อจำแนกระดับ (Airborne Particle Count Cleanliness Classification)
- ความดันห้อง (Room Pressurization)
การทดสอบรอง (เลือกตามความต้องการ)
NEBB ข้อ 9.6 ระบุการทดสอบรองที่ผู้ใช้เลือกได้ เช่น ความขนานของลม (parallelism) การคืนสภาพ (recovery) ระดับแสงสว่าง ระดับเสียง การสั่นสะเทือน ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิและความชื้น ไฟฟ้าสถิต และอัตราการเปลี่ยนถ่ายอากาศ (ACH) ส่วนการแสดงทิศทางลมด้วยควัน (airflow visualization) มีวิธีอยู่ใน ISO 14644-3:2019 ข้อ B.3
รอบการทดสอบที่ NEBB แนะนำ
| การทดสอบ | รอบที่แนะนำ (เดือน) |
|---|---|
| ปริมาณลม ความเร็วลม และความสม่ำเสมอ | 12 |
| รอยรั่วฟิลเตอร์ | 12 |
| นับอนุภาค ห้อง ISO Class 5 หรือสะอาดกว่า | 6 |
| นับอนุภาค ห้องที่สูงกว่า ISO Class 5 | 12 |
| ความดันห้อง | 12 |
| อุณหภูมิและความชื้น | 12 |
| อัตราการเปลี่ยนถ่ายอากาศ | 12 |
| การคืนสภาพ | 24 |
ที่มา: NEBB Table 9-2 เป็นรอบที่แนะนำ ไม่ใช่ข้อบังคับ รอบจริงควรกำหนดตามข้อกำหนดที่โรงงานใช้และการประเมินความเสี่ยง
ทดสอบในสถานะใด
NEBB Table 9-1 ระบุว่าการทดสอบรอยรั่วฟิลเตอร์เหมาะกับสถานะ as-built และ at-rest ส่วนการนับอนุภาค ความดันห้อง และการวัดลม ทำได้ทั้ง as-built, at-rest และ operational ดูนิยามของแต่ละสถานะได้ในบทความรูปแบบการไหลของอากาศและสถานะการใช้งาน
คำถามที่พบบ่อย
NEBB บังคับให้ทดสอบห้องปีละครั้งหรือไม่?
NEBB Table 9-2 เป็นรอบที่แนะนำ ส่วนใหญ่ 12 เดือน แต่การนับอนุภาคในห้อง ISO Class 5 หรือสะอาดกว่าแนะนำทุก 6 เดือน
ใครทดสอบตามมาตรฐาน NEBB ได้?
บริษัทที่ได้รับการรับรองเป็น NEBB Certified CPT Firm ซึ่งต้องมีมาตรฐาน ISO 14644 และ IEST ที่อ้างอิงฉบับปัจจุบัน (NEBB ข้อ 9.4)
QV TEST ได้รับการรับรอง NEBB หรือไม่?
ได้รับการรับรองเป็น NEBB Certified Firm และทดสอบตาม ISO 14644
เอกสารอ้างอิง
- NEBB Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms (CPT), Section 9: Cleanroom Tests ข้อ 9.3–9.7, Table 9-1 และ Table 9-2
- ISO 14644-3:2019 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods ข้อ B.3
มีคำถามที่ไม่มีในบทความ?
ส่งรายละเอียดห้องหรือระบบของคุณ วิศวกรของเราจะตอบกลับพร้อมขอบเขตงาน
ถามวิศวกร