คู่มือการทดสอบ
ทดสอบรอยรั่ว HEPA Filter หลังติดตั้ง (Installed Filter Leak Test) ตาม ISO 14644-3
ทดสอบเพื่ออะไร
ISO 14644-3:2019 ข้อ 4.2.7 ระบุว่าการทดสอบนี้ใช้ยืนยันว่าฟิลเตอร์ติดตั้งถูกต้อง ไม่มีลมรั่วผ่าน (bypass) และฟิลเตอร์ไม่มีตำหนิ เช่น รูเล็ก ความเสียหายของเนื้อกรอง กรอบ หรือซีล การทดสอบนี้ไม่ได้ใช้วัดประสิทธิภาพของเนื้อกรอง
ข้อ B.7.1.1 ใช้กับฟิลเตอร์ที่มีประสิทธิภาพรวมตั้งแต่ 99.95% ขึ้นไปที่ MPPS ทดสอบในสถานะ as-built หรือ at-rest เมื่อเริ่มใช้ห้องใหม่ เมื่อต้องทดสอบซ้ำ หรือหลังเปลี่ยนฟิลเตอร์
วิธี aerosol photometer
- ปล่อยละอองทดสอบด้านต้นทางให้มีความเข้มข้น 1–100 mg/m³ และค่าต้นทางต้องไม่แกว่งเกิน ±15% จากค่าเฉลี่ย (ข้อ B.7.2.6)
- ใช้หัววัดสี่เหลี่ยมขนาด 1 × 8 cm หรือหัววัดกลมเส้นผ่านศูนย์กลาง 3.6 cm (ข้อ B.7.2.2)
- สแกนด้วยความเร็วไม่เกิน 5 cm/s ให้แต่ละแนวซ้อนทับกัน ถือหัววัดห่างจากหน้าฟิลเตอร์หรือกรอบไม่เกิน 3 cm ให้ครอบคลุมทั้งหน้าฟิลเตอร์ ขอบ และซีลกับโครง (ข้อ B.7.2.7)
- เกณฑ์: ค่าที่เกิน 0.01% ของความเข้มข้นต้นทางถือว่าเกินการรั่วที่ยอมรับได้ สำหรับฟิลเตอร์ที่มีประสิทธิภาพ 99.95% ถึงน้อยกว่า 99.995% ที่ MPPS ใช้เกณฑ์ 0.1% (ข้อ B.7.2.4)
วิธี particle counter (LSAPC)
ข้อ B.7.1.3 ระบุว่าวิธีนี้เหมาะกับพื้นที่ที่ยอมให้ละอองน้ำมันระเหยตกค้างบนฟิลเตอร์และท่อไม่ได้ หรือที่แนะนำให้ใช้ละอองของแข็ง วิธีนี้ต้องคำนวณขนาดหัววัด ความเร็วสแกน และจำนวนอนุภาคที่คาดว่าจะนับได้ก่อนทดสอบ และอาจต้องใช้ตัวเจือจาง (diluter)
ฟิลเตอร์ในท่อหรือ AHU: Overall leak test
ข้อ B.7.4 ใช้กับฟิลเตอร์ที่ติดตั้งในท่อลมหรือ AHU โดยวัดความเข้มข้นต้นทาง แล้ววัดด้านปลายทางในจุดที่ละอองผสมกันสม่ำเสมอ ถ้าผสมไม่สม่ำเสมอ ให้วัดเป็นตารางในระนาบที่อยู่ห่างจากฟิลเตอร์ 30–100 cm
มาตรฐานเตือนว่าวิธีนี้หารอยรั่วได้ไวน้อยกว่าการสแกนมาก จึงควรใช้กับพื้นที่ที่วิกฤตน้อยกว่าและสแกนไม่ได้ ถ้าเป็นพื้นที่วิกฤตควรใช้วิธีสแกน เกณฑ์ยอมรับให้ตกลงกันระหว่างลูกค้าและผู้ทดสอบ
ทดสอบบ่อยแค่ไหน
NEBB Table 9-2 แนะนำให้ทดสอบรอยรั่วฟิลเตอร์ทุก 12 เดือน และต้องทดสอบหลังเปลี่ยนฟิลเตอร์ทุกครั้งตาม ISO 14644-3 ข้อ B.7.1.1
คำถามที่พบบ่อย
เกณฑ์รอยรั่ว HEPA คือเท่าไร?
ด้วย aerosol photometer ค่าที่เกิน 0.01% ของความเข้มข้นต้นทางถือว่ารั่ว และใช้ 0.1% สำหรับฟิลเตอร์ประสิทธิภาพ 99.95% ถึงน้อยกว่า 99.995% ที่ MPPS ตาม ISO 14644-3:2019 ข้อ B.7.2.4
ต้องสแกนเร็วแค่ไหน?
ไม่เกิน 5 cm/s และถือหัววัดห่างจากหน้าฟิลเตอร์ไม่เกิน 3 cm ตามข้อ B.7.2.7
ใช้ overall leak test แทนการสแกนได้ไหม?
ใช้ได้กับฟิลเตอร์ในท่อหรือ AHU ที่สแกนไม่ได้และพื้นที่วิกฤตน้อยกว่า เพราะวิธีนี้ไวน้อยกว่าการสแกน (ข้อ B.7.4)
ถ้าผลทดสอบรอยรั่วไม่ผ่าน ต้องทำอย่างไร?
ซ่อมรอยรั่วที่เนื้อฟิลเตอร์ ซีล หรือโครงยึดได้ตามวิธีที่ผู้ใช้และผู้ทดสอบตกลงกัน โดยเลือกวัสดุที่ไม่ปล่อยสารระเหย (outgassing) เมื่อวัสดุแห้งตัวแล้วต้องสแกนจุดเดิมซ้ำ (ข้อ B.7.6) ถ้าฟิลเตอร์เสียหายหรือรั่วหลายจุด ให้เปลี่ยนใหม่และทดสอบรอยรั่วอีกครั้ง → สาเหตุที่ผลทดสอบไม่ผ่านและแนวทางแก้ไข
เอกสารอ้างอิง
- ISO 14644-3:2019 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods ข้อ 4.2.7, B.7.1–B.7.4
- NEBB Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms (CPT), Section 9: Cleanroom Tests ข้อ 9.3–9.7, Table 9-1 และ Table 9-2
มีคำถามที่ไม่มีในบทความ?
ส่งรายละเอียดห้องหรือระบบของคุณ วิศวกรของเราจะตอบกลับพร้อมขอบเขตงาน
ถามวิศวกร