มาตรฐานและกฎระเบียบ
ISO 14644-1:2015 เปลี่ยนอะไรจากฉบับ 1999 และจำแนกระดับห้องสะอาดอย่างไร

ISO 14644-1:2015 ครอบคลุมอะไร
ISO 14644-1:2015 กำหนดการจำแนกความสะอาดของอากาศในห้องสะอาดและพื้นที่สะอาด (clean zone) ด้วยความเข้มข้นของอนุภาคในอากาศ โดยพิจารณาเฉพาะอนุภาคขนาดตั้งแต่ 0.1 µm ถึง 5 µm และใช้เครื่องนับอนุภาคแบบกระเจิงแสง (LSAPC) เป็นพื้นฐานในการวัด (ข้อ 1)
มาตรฐานนี้ไม่ได้ใช้ประเมินคุณลักษณะทางกายภาพ เคมี รังสี หรือความมีชีวิตของอนุภาค ดังนั้นการตรวจเชื้อจุลินทรีย์ต้องอ้างอิงข้อกำหนดอื่น
เปลี่ยนอะไรจากฉบับ 1999
บทนำของมาตรฐานสรุปการเปลี่ยนแปลงหลักไว้ดังนี้
- เปลี่ยนชื่อเป็น “Classification of air cleanliness by particle concentration” ให้สอดคล้องกับส่วนอื่นของชุด ISO 14644
- คง ISO Class ทั้ง 9 ระดับไว้ โดยปรับเล็กน้อย Table 1 ระบุขีดจำกัดของแต่ละ Class และ Table E.1 ใช้กับ Class ระหว่างกลาง
- เปลี่ยนวิธีทางสถิติเป็นแบบจำลองการสุ่มแบบ hypergeometric ให้แต่ละจุดประเมินแยกกันด้วยความเชื่อมั่นอย่างน้อย 95% ว่าพื้นที่อย่างน้อย 90% เป็นไปตามขีดจำกัด และเลิกใช้การคำนวณ 95% UCL
- เปลี่ยนจำนวนจุดเก็บตัวอย่างขั้นต่ำเป็นตาม Table A.1
- ย้ายเรื่องการเฝ้าติดตาม (monitoring) ไปไว้ใน ISO 14644-2:2015
ต้องเก็บตัวอย่างกี่จุด
จำนวนจุดเก็บตัวอย่างขั้นต่ำ (NL) ดูจาก Table A.1 ตามพื้นที่ห้อง ถ้าพื้นที่อยู่ระหว่างสองค่าในตาราง ให้ใช้ค่าที่มากกว่า ตัวอย่างบางแถว:
| พื้นที่ห้อง ไม่เกิน (m²) | จุดเก็บตัวอย่างขั้นต่ำ |
|---|---|
| 10 | 5 |
| 24 | 6 |
| 52 | 10 |
| 104 | 16 |
| 1,000 | 27 |
ห้องที่ใหญ่กว่า 1,000 m² ใช้ Formula (A.1): NL = 27 × (A / 1,000) โดย A คือพื้นที่ห้องเป็น m² แล้วปัดขึ้นเป็นจำนวนเต็ม (ข้อ A.4.3)
วิธีวางจุดตามข้อ A.4.2 คือ แบ่งห้องเป็นส่วนที่มีพื้นที่เท่ากันจำนวน NL ส่วน เลือกจุดที่เป็นตัวแทนในแต่ละส่วน และวางหัววัดในระนาบที่มีการทำงาน หรือจุดอื่นที่กำหนด สามารถเพิ่มจุดในตำแหน่งวิกฤตได้ตามที่ตกลงกัน
ต้องดูดอากาศต่อจุดเท่าไร
ข้อ A.4.4 กำหนดให้แต่ละจุดเก็บอากาศมากพอที่จะนับอนุภาคได้อย่างน้อย 20 อนุภาค ถ้าความเข้มข้นของอนุภาคขนาดใหญ่ที่สุดที่เลือกเท่ากับขีดจำกัดของ Class คำนวณด้วย Formula (A.2): Vs = (20 / Cn,m) × 1,000 ลิตร
ปริมาตรต่อครั้งต้องไม่น้อยกว่า 2 ลิตร ใช้เวลาเก็บอย่างน้อย 1 นาที และทุกจุดต้องใช้ปริมาตรเท่ากัน
ตัดสินผลอย่างไร
ข้อ A.6.2.1 กำหนดว่าห้องผ่านการจำแนก เมื่อค่าเฉลี่ยความเข้มข้นของอนุภาค (อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร) ที่วัดได้ในทุกจุดไม่เกินขีดจำกัดตาม Table 1 ถ้าจุดใดเกินเกณฑ์ ต้องสอบสวนหาสาเหตุ และบันทึกผลการสอบสวนกับการแก้ไขไว้ในรายงาน (ข้อ A.6.2.2)
คำถามที่พบบ่อย
ISO 14644-1:2015 ใช้วัดอนุภาคขนาดใดบ้าง?
อนุภาคขนาดตั้งแต่ 0.1 µm ถึง 5 µm ตามข้อ 1 ของมาตรฐาน อนุภาคที่ใหญ่กว่า 5 µm ใช้ M descriptor ตาม Annex C
ห้อง 30 m² ต้องเก็บตัวอย่างกี่จุด?
30 m² อยู่ระหว่าง 28 และ 32 m² ใน Table A.1 จึงใช้ค่าที่มากกว่า คือ 32 m² ซึ่งกำหนดขั้นต่ำ 8 จุด
ยังต้องคำนวณ 95% UCL หรือไม่?
ไม่ต้อง ฉบับ 2015 เลิกใช้ 95% UCL และให้ประเมินแต่ละจุดแยกกัน
เอกสารอ้างอิง
- ISO 14644-1:2015 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration ข้อ 1, บทนำ, Table A.1, ข้อ A.4.2–A.4.4 และ A.6.2
มีคำถามที่ไม่มีในบทความ?
ส่งรายละเอียดห้องหรือระบบของคุณ วิศวกรของเราจะตอบกลับพร้อมขอบเขตงาน
ถามวิศวกร
