คู่มือการทดสอบ
ทดสอบปริมาณลม ความเร็วลม และอัตราการเปลี่ยนถ่ายอากาศ (ACH) ในห้องสะอาดตาม ISO 14644-3
ทำไมต้องทดสอบลม
ISO 14644-3:2019 ข้อ 4.2.2 ระบุว่าการทดสอบลมใช้วัดลมจ่ายเข้าห้อง ในห้องลมทิศทางเดียวต้องวัดการกระจายความเร็ว ส่วนห้องลมไม่ใช่ทิศทางเดียวต้องวัดปริมาณลมจ่าย การทดสอบความต่างความดันควรทำหลังผลการทดสอบลมผ่านเกณฑ์แล้ว (ข้อ 4.2.1) และการทดสอบรอยรั่วฟิลเตอร์ควรทำหลังการทดสอบความเร็วลม (ข้อ B.7.2.7)
ห้องลมทิศทางเดียว: ความเร็วและความสม่ำเสมอ
- วัดความเร็วลมที่ระยะประมาณ 150–300 mm จากหน้าฟิลเตอร์หรือระนาบลมเข้า (ข้อ B.2.2.2)
- แบ่งระนาบวัดเป็นช่องพื้นที่เท่ากัน จำนวนจุดขั้นต่ำ N = √(10 × A) (Formula B.1) โดย A คือพื้นที่ที่วัดเป็น m² ปัดขึ้นเป็นจำนวนเต็ม และต้องมีอย่างน้อย 1 จุดต่อฟิลเตอร์หรือ FFU หนึ่งตัว
- ความเร็วเฉลี่ย Va = ΣVn / N
- ความสม่ำเสมอ UV = [1 − (σ / Va)] × 100 และค่าเบี่ยงเบนสูงสุด Dmax = [(Vd − Va) / Va] × 100 (ข้อ B.2.2.3) เกณฑ์ยอมรับให้ตกลงกันระหว่างลูกค้าและผู้ทดสอบ
ห้องลมไม่ใช่ทิศทางเดียว: ปริมาณลมจ่าย
ข้อ B.2.3.2 แนะนำให้ใช้ capture hood ครอบหัวจ่ายหรือฟิลเตอร์ทั้งหมด และวางหน้า hood แนบพื้นผิวเรียบเพื่อไม่ให้ลมรั่วออกข้าง ต้องตรวจความถูกต้องของ hood กับหัวจ่ายแต่ละแบบ และใช้ค่าแก้ (correction factor) ถ้าจำเป็น อีกวิธีคือวัดความเร็วด้วย anemometer แล้วคูณพื้นที่เปิดที่แก้แล้ว (ข้อ B.2.3.3) หรือวัดในท่อลม (ข้อ B.2.3.4)
คำนวณอัตราการเปลี่ยนถ่ายอากาศ (ACH)
ISO 14644-3:2019 ข้อ 3.4.1 นิยามอัตราการเปลี่ยนถ่ายอากาศว่าเป็นปริมาตรอากาศที่จ่ายเข้าในหนึ่งหน่วยเวลา หารด้วยปริมาตรห้อง ในทางปฏิบัติคือ ACH = ปริมาณลมจ่ายรวม (m³/h) ÷ ปริมาตรห้อง (m³)
มาตรฐานนี้ไม่ได้กำหนดค่า ACH ขั้นต่ำสำหรับแต่ละ ISO Class ค่าที่ใช้เป็นเกณฑ์จึงต้องมาจากแบบหรือข้อกำหนดของผู้ใช้ (URS)
ทดสอบบ่อยแค่ไหน
NEBB Table 9-2 แนะนำให้ทดสอบปริมาณลม ความเร็วลมและความสม่ำเสมอ รวมถึง ACH ทุก 12 เดือน รอบจริงควรกำหนดตามการประเมินความเสี่ยงและข้อกำหนดที่โรงงานใช้
คำถามที่พบบ่อย
พื้นที่ระนาบวัด 4 m² ต้องวัดความเร็วลมกี่จุด?
N = √(10 × 4) = √40 ≈ 6.3 ปัดขึ้นเป็น 7 จุดเป็นขั้นต่ำ ตาม ISO 14644-3:2019 Formula (B.1) และต้องมีอย่างน้อย 1 จุดต่อฟิลเตอร์หรือ FFU
ห้อง ISO 7 ต้องมี ACH เท่าไร?
ISO 14644-3 ไม่ได้กำหนดค่า ACH ขั้นต่ำ ค่าเกณฑ์ต้องมาจากแบบห้องหรือ URS ของโรงงาน
ห้องลมไม่ใช่ทิศทางเดียวต้องวัดความสม่ำเสมอของความเร็วไหม?
โดยทั่วไปไม่จำเป็น ข้อ 4.2.2 ระบุว่าห้องประเภทนี้วัดปริมาณลมจ่ายโดยตรงแล้วใช้คำนวณ ACH
ถ้าผลวัดปริมาณลมไม่ผ่าน ควรตรวจอะไร?
ตรวจฟิลเตอร์ที่อุดตันหรือผิดสเปก พัดลมหรือ AHU (สายพาน ใบพัด ทิศการหมุน และการตั้งค่า VFD) ท่อลมรั่วหรือแดมเปอร์ที่ปรับไม่ถูกต้อง และเซนเซอร์ความดัน จากนั้นปรับสมดุลลม (air balancing) ก่อนทดสอบซ้ำ → สาเหตุที่ผลทดสอบไม่ผ่านและแนวทางแก้ไข
เอกสารอ้างอิง
- ISO 14644-3:2019 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods ข้อ 3.4.1, 4.2.1, 4.2.2, B.2.2 และ B.2.3
- NEBB Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms (CPT), Section 9: Cleanroom Tests ข้อ 9.3–9.7, Table 9-1 และ Table 9-2
มีคำถามที่ไม่มีในบทความ?
ส่งรายละเอียดห้องหรือระบบของคุณ วิศวกรของเราจะตอบกลับพร้อมขอบเขตงาน
ถามวิศวกร