มาตรฐานและกฎระเบียบ
ห้องสะอาด (Cleanroom) คืออะไร และ Class 100 หรือ Class 10,000 เทียบกับ ISO Class อย่างไร
นิยามตาม ISO 14644-1:2015
ISO 14644-1:2015 ข้อ 3.1.1 นิยามห้องสะอาด (cleanroom) ว่าเป็นห้องที่ควบคุมและจำแนกความเข้มข้นของอนุภาคในอากาศ และออกแบบ ก่อสร้าง และใช้งานในลักษณะที่ควบคุมการนำเข้า การเกิด และการสะสมของอนุภาคภายในห้อง ส่วนพื้นที่สะอาด (clean zone) ตามข้อ 3.1.2 คือพื้นที่ที่กำหนดขอบเขตไว้และควบคุมในลักษณะเดียวกัน ซึ่งอาจอยู่ในห้องสะอาดหรือเป็นอุปกรณ์แยกก็ได้
หมายเหตุของนิยามระบุว่าอาจควบคุมพารามิเตอร์อื่นตามความจำเป็นด้วย เช่น อุณหภูมิ ความชื้น ความดัน การสั่นสะเทือน และไฟฟ้าสถิต
FS 209E กับ ISO 14644-1
FS 209 ใช้ระบบหน่วยผสม ขนาดอนุภาคเป็นไมโครเมตร แต่ความเข้มข้นเป็นอนุภาคต่อลูกบาศก์ฟุต “Class 100” จึงหมายถึงอนุภาคขนาด 0.5 µm ขึ้นไปไม่เกิน 100 อนุภาคต่อลูกบาศก์ฟุต FS 209E (1992) เริ่มใช้หน่วยลูกบาศก์เมตร และ IEST ประกาศยกเลิก FS 209E ในปี 2001
ASHRAE Design Guide for Cleanrooms ระบุว่า 1 m³ ประมาณ 35 ft³ ทั้งสองมาตรฐานจึงใกล้เคียงกันเมื่อวัดอนุภาค 0.5 µm แม้วิธีทดสอบจะต่างกัน
| ISO 14644-1 | ขีดจำกัด ≥0.5 µm (อนุภาค/m³) | FS 209E |
|---|---|---|
| ISO Class 3 | 35 | Class 1 |
| ISO Class 4 | 352 | Class 10 |
| ISO Class 5 | 3,520 | Class 100 |
| ISO Class 6 | 35,200 | Class 1,000 |
| ISO Class 7 | 352,000 | Class 10,000 |
| ISO Class 8 | 3,520,000 | Class 100,000 |
ที่มา: ASHRAE Design Guide for Cleanrooms (2017) Table 1.4 ห้องที่ต้องรับรองอย่างเป็นทางการควรระบุเป็น ISO Class ตาม ISO 14644-1:2015
ใช้ห้องสะอาดในงานใดบ้าง
บทนำของ ISO 14644-1:2015 ระบุว่าการควบคุมการปนเปื้อนเป็นประโยชน์ต่อการปกป้องผลิตภัณฑ์หรือความสมบูรณ์ของกระบวนการ ในอุตสาหกรรมเช่น อวกาศ ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ยา เครื่องมือแพทย์ การดูแลสุขภาพ และอาหาร
คำถามที่พบบ่อย
Class 10,000 คือ ISO Class อะไร?
เทียบได้กับ ISO Class 7 (ขีดจำกัด 352,000 อนุภาค ≥0.5 µm ต่อ m³) ตาม ASHRAE Design Guide for Cleanrooms Table 1.4
ยังใช้ FS 209E รับรองห้องได้หรือไม่?
FS 209E ถูกยกเลิกตั้งแต่ปี 2001 การจำแนกระดับปัจจุบันใช้ ISO 14644-1:2015
อากาศในห้องทั่วไปอยู่ระดับใด?
ASHRAE Design Guide for Cleanrooms ระบุว่าอากาศในห้องทั่วไปอยู่ราว ISO Class 9 หรือ Class 1,000,000
เอกสารอ้างอิง
- ISO 14644-1:2015 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration ข้อ 3.1.1, 3.1.2 และบทนำ
- ASHRAE Design Guide for Cleanrooms: Fundamentals, Systems, and Performance (2017), บทที่ 1 Table 1.3 และ Table 1.4
มีคำถามที่ไม่มีในบทความ?
ส่งรายละเอียดห้องหรือระบบของคุณ วิศวกรของเราจะตอบกลับพร้อมขอบเขตงาน
ถามวิศวกร